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PRODUCT

プラズマ用高周波電源 AXシリーズ

プラズマ用高周波電源 AXシリーズ

特徴

  • 高反射に耐えるAB級リニアAMP採用
  • 高信頼、高耐久設計

仕様

対応周波数 400kHz                    
2MHz                  
4MHz                
12.5MHz                
13.56MHz    
27.12MHz                  
40.68MHz                    
定格出力(W) 300 600 1000 1500 2000 3000 4000 5000 7500 10000 20000 30000
電源 単相
AC200-240V
三相
AC200-240V
三相
AC440-480V
重量(Kg) 11 25 36 25 40 32 62 235 320 560 570
外形寸法(mm)                        
幅(W) 430 430 430 430 430 430 550 570 700 850
奥行(L) 370 500 450 550 550 670 670 800 850 850
高さ(H) 132.5 132.5 177 177 221 266 266 800 1106 1300
冷却方式 強制空冷 強制空冷+水冷

オプション

  • パルス
  • アークカット
  • VF(周波数可変)
製品、サービスについてのお問い合わせ
お電話番号/084-945-1300
受付時間/9:00~18:00(土日・祝日を除く)