株式会社アドテックプラズマテクノロジー
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特許権

特許権

日本 日本

マイクロ波プラズマ発生方法および装置2010
プラズマ発生電極及びプラズマ発生方法2012
高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置2019
出力する高周波電力の経時変化パターンを任意に設定可能な高周波電源 2021
電気経路切替器2021
リアクタンス可変回路および当該回路を備えたインピーダンス整合装置2023
同軸型マイクロ波プラズマトーチ2024

アメリカ 米国

プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法2009
同軸形マイクロ波プラズマトーチ2010
マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器2016
高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置2023
出力する高周波電力の経時変化パターンを任意に設定可能な高周波電源2024

英国 英国

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2016

ドイツ ドイツ

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2016

韓国 韓国

高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置2020

カナダ カナダ

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2014

スイス スイス

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2016

台湾 台湾

高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置2020
出力する高周波電力の経時変化パターンを任意に設定可能な高周波電源2022

中国 中国

高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置2022