株式会社アドテックプラズマテクノロジー
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特許権

特許権

日本 日本

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2008
プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法2010
マイクロ波プラズマ発生方法および装置2010
プラズマ発生電極及びプラズマ発生方法2012
マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器2014
高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置2019

アメリカ 米国

プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法2009
同軸形マイクロ波プラズマトーチ2010
マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器2016

英国 英国

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2016

ドイツ ドイツ

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2016

韓国 韓国

高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置2020

カナダ カナダ

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2014

スイス スイス

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2016

台湾 台湾

高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置2020