特許権
日本
| マイクロ波プラズマ発生方法および装置 | 2010 |
| プラズマ発生電極及びプラズマ発生方法 | 2012 |
| 高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置 | 2019 |
| 出力する高周波電力の経時変化パターンを任意に設定可能な高周波電源 | 2021 |
| 電気経路切替器 | 2021 |
| リアクタンス可変回路および当該回路を備えたインピーダンス整合装置 | 2023 |
| 同軸型マイクロ波プラズマトーチ | 2024 |
| 同軸型マイクロ波プラズマトーチ 着火装置 | 2024 |
米国
| プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 | 2009 |
| 同軸形マイクロ波プラズマトーチ | 2010 |
| 高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置 | 2023 |
| 出力する高周波電力の経時変化パターンを任意に設定可能な高周波電源 | 2024 |
英国
| 同軸形マイクロ波プラズマトーチ | 2016 |
ドイツ
| 同軸形マイクロ波プラズマトーチ | 2016 |
韓国
| 高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置 | 2020 |
カナダ
| 同軸形マイクロ波プラズマトーチ | 2014 |
スイス
| 同軸形マイクロ波プラズマトーチ | 2016 |
台湾
| 高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置 | 2020 |
| 出力する高周波電力の経時変化パターンを任意に設定可能な高周波電源 | 2022 |
中国
| 高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置 | 2022 |