株式会社アドテックプラズマテクノロジー
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特許権

特許権

日本 日本

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2008
プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法2010
マイクロ波プラズマ発生方法および装置2010
ガス分解装置およびそれを用いたプラズマ設備2011
プラズマ発生電極及びプラズマ発生方法2012
プラズマ処理装置2013
マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器2014

アメリカ 米国

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備2008
プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法2009
同軸形マイクロ波プラズマトーチ2010
マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器2016

フランス フランス

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備2007

英国 英国

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備2007
同軸形マイクロ波プラズマトーチ2016

ドイツ ドイツ

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備2007
同軸形マイクロ波プラズマトーチ2016

韓国 韓国

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備2007
マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器2016

カナダ カナダ

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2014

スイス スイス

同軸形マイクロ波プラズマトーチ2016

台湾 台湾

マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器2016