プラズマ用高周波電源 TXシリーズ
特徴
- 高反射に耐えるAB級リニアAMP採用
- コストダウン、コンパクトなハーフラックモデル（当社比：幅、重量1/2以下）
オプション
- パルス
- VF（周波数可変）
- アークカット
TXシリーズ仕様
| 対応周波数 | 12.5MHz | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 13.56MHz | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||
| 27.12MHz | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
| 定格出力(W) | 300 | 600 | 1000 | 2000 | 3000 | 5000 | |||
| 電源 |
|
||||||||
| 重量（Kg) | 7 | 13 | 21 | 22 | 45 | ||||
| 外形寸法 （mm） |
幅（W) | 215 | 215 | 430 | |||||
| 奥行（L) | 498 | 558 | 650 | ||||||
| 高さ（H) | 145 | 177 | 177 | ||||||
| 冷却方式 | 強制空冷 | 強制空冷+水冷 | |||||||