プラズマ用高周波電源 AXシリーズ
特徴
- 高反射に耐えるAB級リニアAMP採用
- 高信頼、高耐久設計
AXシリーズ仕様
| 対 応 周 波 数 |
400kHz | 〇 | 〇 | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2MHz | 〇 | 〇 | ||||||||||
| 13.56MHz | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| 27.12MHz | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||||
| 定格出力(W) | 300 | 600 | 1000 | 1500 | 2000 | 3000 | 5000 | 7500 | 10000 | 20000 | 30000 | |
| 電源 | 単相 AC200-240V |
三相 AC200-240V |
三相 AC440-480V |
|||||||||
| 重量（Kg) | 11 | 25 | 36 | 25 | 40 | 32 | 62 | 235 | 320 | 560 | 570 | |
| 外 形 寸 法 (mm) |
幅（W) | 430 | 430 | 430 | 430 | 430 | 430 | 550 | 570 | 700 | 850 | |
| 奥行（L) | 370 | 500 | 450 | 550 | 550 | 670 | 670 | 800 | 850 | 850 | ||
| 高さ（H) | 132.5 | 132.5 | 177 | 177 | 221 | 266 | 266 | 800 | 1106 | 1300 | ||
| 冷却方式 | 強制空冷 | 強制空冷＋水冷 | ||||||||||