株式会社アドテックプラズマテクノロジー
PRODUCT

マイクロ波

直流電源マイクロ波

マイクロ波

マイクロ波
マイクロ波

特徴

  • プラズマプロセスシステム用装置に対応
  • 高圧電源部、発振部の軽量化
  • 低ドリフトのマグネトロンを使用
  • 装置とマイクロ波電源の制御はRS485(標準搭載)
  • 他のデジタル通信対応可能
  • 高圧電源部、発振部による排気熱の影響がなく、設置場所も広範囲
  • アイソレータ内蔵(発振部+アイソレータ一体型)

仕様

受電 3Φ AC200V±10% 50/60Hz 20A以下
最大出力 3000W
出力可変範囲 300W~3000W
※注 マグネトロンの特性次第により、600W以下の出力では、出力直線精度は保証しません。
出力直線性精度 設定電力の±3%以内
出力安定度 電源電圧の±10%の変動に対し、±1%以内
出力リップル 5%p-p以下
冷却方式 水冷
寸法 W480xH221.5xD631(mm)
重量 約30kg

外形図

外形図
製品、サービスについてのお問い合わせ
お電話番号/0283-85-7200
受付時間/8:30~17:00(土日祝日、弊社休日を除く)

マイクロ波 オートチューナ

外形図

仕様

周波数範囲 2450MHz±30MHz
許容通過電力 3kW 連続波(パワーリップル10%以下)
整合精度 1%以内(電力比)*
整合速度 3秒以内*
冷却方式 水冷

*負荷としてダミーロードを用いた当社試験設備による実験結果。
※詳細な仕様については個別にお問い合わせください。

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