株式会社アドテックプラズマテクノロジー
PRODUCT

直流電源

直流電源 バイポーラ電源 BP020A 

チャンバーアナライザー ACA-500

特徴

  • 1台でマルチに出力モードの変更可能
    Duty可変、バイポーラ出力、直流出力、直流パルス出力
  • 出力電圧 1000Vの高耐電圧仕様、SiCパワーモジュール採用
  • 高速デジタルハードウエアによる高速アーク遮断機能
  • 密閉型水冷冷却構造による排気熱の影響がなく、設置場所も広範囲

仕様

受電 三相AC380V±10%(47~63Hz)
定格電力 20kW
定格電圧 1000V(~20A)
定格電流 40A(~500V)
出力周波数 20・40・60・80kHz(選択可能)
イグニッション出力 2000V
冷却方式 水冷密閉式
工業用水/流量:7L/min(0.7Mpa以下)
寸法 W482xH266xD800(mm)
重量 約70kg
製品、サービスについてのお問い合わせ
お電話番号/0283-85-7200
受付時間/8:30~17:00(土日祝日、弊社休日を除く)

直流電源 バイポーラ電源 BP010A

近日リリース予定!

仕様

受電 三相AC380V±10%(47~63Hz)
定格電力 1000V(~10A)
定格電圧 25A(~400V)
出力周波数 20・40・60・80kHz(選択可能)
イグニッション出力 2000V
冷却方式 水冷密閉式
寸法 TBD
重量 TBD

※詳細な仕様については個別にお問い合わせください。

静電チャック電源

特徴

  • UL準拠、出力電圧±10kVの高電圧出力
  • 極性反転機能、強制接地機能を搭載した静電チャック用高圧電源
  • デジタル制御、外部通信(RS-232C)、アナログ出力モニタ(電圧、電流)機能
  • 負荷側の放電、短絡、過負荷等に対する確実な保護回路
  • 外付専用RFフィルタBOXを準備、RFノイズから電源を保護

仕様

受電 DC24Vdc(22Vdc~28Vdc)
定格電圧 ±10kVdc
定格電流 ±1mA
リップル電圧 1%pp
出力安定度 100Vdc(定格出力時)
負荷範囲 10MΩ(許容値:8~50MΩ)
冷却方式 空冷(腐食性のガスなきこと)
寸法 W480xH149xD500(mm)
重量 約9.7kg
製品、サービスについてのお問い合わせ
お電話番号/0283-85-7200
受付時間/8:30~17:00(土日祝日、弊社休日を除く)