直流電源 バイポーラ電源 ＢＰ０２０Ａ
特徴
- １台でマルチに出力モードの変更可能
Duty可変、バイポーラ出力、直流出力、直流パルス出力 - 出力電圧 １０００Ｖの高耐電圧仕様、ＳｉＣパワーモジュール採用
- 高速デジタルハードウエアによる高速アーク遮断機能
- 密閉型水冷冷却構造による排気熱の影響がなく、設置場所も広範囲
仕様
| 受電 | 三相AC380V±10％（47～63Hz） |
|---|---|
| 定格電力 | 20kW |
| 定格電圧 | 1000V（～20A） |
| 定格電流 | 40A（～500V） |
| 出力周波数 | 20・40・60・80kHz（選択可能） |
| イグニッション出力 | 2000V |
| 冷却方式 | 水冷密閉式 工業用水／流量：7L／min（0.7Mpa以下） |
| 寸法 | W482xH266xD800（mm） |
| 重量 | 約70kg |
直流電源 バイポーラ電源 ＢＰ０1０Ａ
近日リリース予定！
仕様
| 受電 | 三相AC380V±10％（47～63Hz） |
|---|---|
| 定格電力 | 1000V(～10A） |
| 定格電圧 | 25A（～400V） |
| 出力周波数 | 20・40・60・80kHz（選択可能） |
| イグニッション出力 | 2000V |
| 冷却方式 | 水冷密閉式 |
| 寸法 | TBD |
| 重量 | TBD |
※詳細な仕様については個別にお問い合わせください。
静電チャック電源
特徴
- UL準拠、出力電圧±10kVの高電圧出力
- 極性反転機能、強制接地機能を搭載した静電チャック用高圧電源
- デジタル制御、外部通信（RS-232C）、アナログ出力モニタ（電圧、電流）機能
- 負荷側の放電、短絡、過負荷等に対する確実な保護回路
- 外付専用RFフィルタBOXを準備、RFノイズから電源を保護
仕様
| 受電 | DC24Vdc（22Vdc～28Vdc） |
|---|---|
| 定格電圧 | ±10kVdc |
| 定格電流 | ±1mA |
| リップル電圧 | 1%pp |
| 出力安定度 | 100Vdc（定格出力時） |
| 負荷範囲 | 10MΩ（許容値：8～50MΩ） |
| 冷却方式 | 空冷（腐食性のガスなきこと） |
| 寸法 | W480xH149xD500（mm） |
| 重量 | 約9.7kg |