直流電源

直流電源　バイポーラ電源　ＢＰ０２０Ａ　

特徴

• １台でマルチに出力モードの変更可能
  Duty可変、バイポーラ出力、直流出力、直流パルス出力
• 出力電圧　１０００Ｖの高耐電圧仕様、ＳｉＣパワーモジュール採用
• 高速デジタルハードウエアによる高速アーク遮断機能
• 密閉型水冷冷却構造による排気熱の影響がなく、設置場所も広範囲

仕様

受電	三相AC380V±10％（47～63Hz）
定格電力	20kW
定格電圧	1000V（～20A）
定格電流	40A（～500V）
出力周波数	20・40・60・80kHz（選択可能）
イグニッション出力	2000V
冷却方式	水冷密閉式 工業用水／流量：7L／min（0.7Mpa以下）
寸法	W482xH266xD800（mm）
重量	約70kg

静電チャック電源

特徴

• UL準拠、出力電圧±10kVの高電圧出力
• 極性反転機能、強制接地機能を搭載した静電チャック用高圧電源
• デジタル制御、外部通信（RS-232C）、アナログ出力モニタ（電圧、電流）機能
• 負荷側の放電、短絡、過負荷等に対する確実な保護回路
• 外付専用RFフィルタBOXを準備、RFノイズから電源を保護

仕様

受電	DC24Vdc（22Vdc～28Vdc）
定格電圧	±10kVdc
定格電流	±1mA
リップル電圧	1%pp
出力安定度	100Vdc（定格出力時）
負荷範囲	10MΩ（許容値：8～50MΩ）
冷却方式	空冷（腐食性のガスなきこと）
寸法	W480xH149xD500（mm）
重量	約9.7kg