株式会社アドテックプラズマテクノロジー
PRODUCT 

高周波射频电源 TXR,TXL,TXM,TXH系列

高周波射频电源 TXR,TXL,TXM,TXH系列

特点

  • 搭载最新型CPU(高速应答性)
  • 可对应新型通信方式(包括EtherCAT)

选配功能

  • 脉冲功能
  • VF(可变频率)
  • 电弧抑制功能

TXR系列规格

プラズマ用高周波電源 TXRシリーズ
可对应频率  13.56MHz  
27.12MHz            
额定功率(W) 300 600 1000 3000 5000 10000 20000
AC电源 単相
AC200-240V
三相
AC200-240V
重量(Kg) 13 13 13 26 TBD 81 150
   外观尺寸
(mm)
 宽(W) 215 215 215 215 430 650
 深(L) 498 498 498 598 700 800
高(H)  133 133 133 221 265 700
冷却方式 风冷 风冷+水冷

TXL系列规格

プラズマ用高周波電源 TXLシリーズ
可对应频率 400kHz
额定功率(W) 500 1000 2000 3000
AC电源 三相
AC200-240V
重量(Kg) 16 16 TBD
  外观尺寸
(mm)
宽(W) 215 215
深(L) 628 628
高(H) 145 145
冷却方式 风冷 风冷+水冷

TXM系列规格

プラズマ用高周波電源 TXMシリーズ
可对应频率 2MHz
4MHz      
额定功率(W) 800 1600 2400 3200 5000
AC电源 三相
AC200-240V
重量(Kg) TBD
  外观尺寸
(mm)
宽(W)
深(L)
高(H)
冷却方式 风冷 风冷+水冷

TXH系列规格

将于近日发布

可对应频率 40MHz  
60MHz    
额定功率(W) 1600 2400 3000
AC电源 三相
AC200-240V
重量(Kg) TBD
  外观尺寸
(mm)
宽(W) 430 430 430
深(L) 600 600 600
高(H) 177 177 177
冷却方式 风冷 风冷+水冷
产品及售后技术支持
电话/084-945-1300
受理时间/9:00~18:00(东京时间)星期六、日、节假日及本公司节假日除外