株式会社アドテックプラズマテクノロジー
PRODUCT 

高周波射频电源 TX系列

高周波射频电源 TX系列

プラズマ用高周波電源 TXシリーズ

特点

  • 搭载耐反射AB级线性增幅器
  • 为经济性,小型的半机柜型(旧型相比:宽度,重量为1/2以下)

选配功能

  • 脉冲功能
  • VF(可变频率)
  • 电弧抑制功能

TX系列规格

可对应频率 12.5MHz    
13.56MHz
27.12MHz      
额定功率(W) 300 600 1000 2000 3000 5000
AC电源
単相
AC200-240V
三相
AC200-240V
重量(Kg) 7 13 21 22 45
外观尺寸
(mm)
宽(W) 215 215 430
深(L) 498 558 650
高(H) 145 177 177
冷却方式 风冷 风冷+水冷
产品及售后技术支持
电话/084-945-1300
受理时间/9:00~18:00(东京时间)星期六、日、节假日及本公司节假日除外