株式会社アドテックプラズマテクノロジー
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专利

专利

日本 日本

同轴微波等离子炬2008
等离子产生器,臭氧产生器,基板处理装置及半导体装置的制造方法2010
微波等离子体产生方法及装置2010
气体分解装置及使用气体分解装置的等离子设备2011
等离子产生电极及等离子产生方法2012
等离子处理装置2013
微波等离子体发生器的空腔共振器2014

アメリカ 美国

处理装置及使用处理装置的等离子设备2008
等离子产生器,臭氧产生器,基板处理装置及半导体装置的制造方法2009
同轴微波等离子炬2010
微波等离子体发生器的空腔共振器2016

フランス 法国

处理装置及使用处理装置的等离子设备2007

英国 英国

处理装置及使用处理装置的等离子设备2007
同轴微波等离子炬2016

ドイツ 德国

处理装置及使用处理装置的等离子设备2007
同轴微波等离子炬2016

韓国 韩国

处理装置及使用处理装置的等离子设备2007
微波等离子体发生器的空腔共振器2016

カナダ 加拿大

同轴微波等离子炬2014

スイス 瑞士

同轴微波等离子炬2016

台湾 台湾

微波等离子体发生器的空腔共振器2016