专利
日本
| 同轴微波等离子炬 | 2008 |
| 等离子产生器，臭氧产生器，基板处理装置及半导体装置的制造方法 | 2010 |
| 微波等离子体产生方法及装置 | 2010 |
| 等离子产生电极及等离子产生方法 | 2012 |
| 微波等离子体发生器的空腔共振器 | 2014 |
| 设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置 | 2019 |
| 可任意设定输出的高频电力的时间变化模式的高频电源 | 2021 |
| 电气路径切换装置 | 2021 |
美国
| 等离子产生器，臭氧产生器，基板处理装置及半导体装置的制造方法 | 2009 |
| 同轴微波等离子炬 | 2010 |
| 微波等离子体发生器的空腔共振器 | 2016 |
英国
| 同轴微波等离子炬 | 2016 |
德国
| 同轴微波等离子炬 | 2016 |
韩国
| 设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置 | 2020 |
加拿大
| 同轴微波等离子炬 | 2014 |
瑞士
| 同轴微波等离子炬 | 2016 |
台湾
| 设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置 | 2020 |