株式会社アドテックプラズマテクノロジー
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专利

专利

日本 日本

同轴微波等离子炬2008
等离子产生器,臭氧产生器,基板处理装置及半导体装置的制造方法2010
微波等离子体产生方法及装置2010
等离子产生电极及等离子产生方法2012
微波等离子体发生器的空腔共振器2014
设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置2019

アメリカ 美国

等离子产生器,臭氧产生器,基板处理装置及半导体装置的制造方法2009
同轴微波等离子炬2010
微波等离子体发生器的空腔共振器2016

英国 英国

同轴微波等离子炬2016

ドイツ 德国

同轴微波等离子炬2016

韓国 韩国

设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置2020

カナダ 加拿大

同轴微波等离子炬2014

スイス 瑞士

同轴微波等离子炬2016

台湾 台湾

设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置2020