高周波射频电源 设计可承受高反射高耐用的具有高信赖度的产品 提供降低成本的产品 安装了最新的CPU（高速响应性能UP） 支持新的通讯方式（可对应EtherCAT） 自动匹配阻抗设备 可实现高速自动整合 监视史密斯圆图上的腔室阻抗 使用专用软件实时显示，行波，反射波电力功率等 测量仪器 进行波，反射波轨迹显示 交换功率传感器，可以测量各种频率和功率 直流电源 可在一台电源上实现多种输出模式可实现可变Duty的双极输出可实现直流及直流脉冲方式输出 搭载高速电弧遮断功能 微波电源 应用于等离子处理设备 不受高电压及振动部产生的散热影响，并且设置环境也适合广大范围
