高周波射频电源 设计可承受高反射高耐用的具有高信赖度的产品 提供降低成本的产品 安装了最新的CPU（高速响应性能UP） 支持新的通讯方式（可对应EtherCAT） 自动匹配阻抗设备 可实现高速自动整合 监视史密斯圆图上的腔室阻抗 使用专用软件实时显示，行波，反射波电力功率等 测量仪器 易于携带的腔体分析仪 进行波，反射波轨迹显示
