RF Plasma Generator TXR、TXL、TXM、TXH series
특징
- 최신 CPU 탑재 (빠른 응답성)
최신 통신방식에 대응가능 (Ether CAT 대응가능)
Options
- PULSE
- VF（주파수 가변）
- Arc 차단
TXR 시리즈 사양
| 대응 주파수 | 13.56MHz | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 27.12MHz | 〇 | |||||||
| 정격출력(W) | 300 | 600 | 1000 | 3000 | 5000 | 10000 | 20000 | |
| 전원 | 단상 AC200-240V |
삼상 AC200-240V |
||||||
| 중량（Kg) | 13 | 13 | 13 | 26 | TBD | 81 | 150 | |
| 외관 치수 (mm) |
폭（W) | 215 | 215 | 215 | 215 | 430 | 650 | |
| 길이（L) | 498 | 498 | 498 | 598 | 700 | 800 | ||
| 높이（H) | 133 | 133 | 133 | 221 | 265 | 700 | ||
| 냉각방식 | 강제공랭 | 강제공랭+수랭 | ||||||
TXL 시리즈 사양
| 대응 주파수 | 400kHz | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
|---|---|---|---|---|---|
| 정격출력(W) | 500 | 1000 | 2000 | 3000 | |
| 전원 | 삼상 AC200-240V |
||||
| 중량（Kg) | 16 | 16 | TBD | ||
| 외관 치수 (mm) |
폭（W) | 215 | 215 | ||
| 길이（L) | 628 | 628 | |||
| 높이（H) | 145 | 145 | |||
| 냉각방식 | 강제공랭 | 강제공랭+수랭 | |||
TXM 시리즈 사양
| 대응 주파수 | 2MHz | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4MHz | 〇 | 〇 | ||||
| 정격출력 (W) | 800 | 1600 | 2400 | 3200 | 5000 | |
| 전원 | 삼상 AC200-240V |
|||||
| 중량（Kg) | TBD | |||||
| 외관 치수 (mm) |
폭（W) | |||||
| 길이（L) | ||||||
| 높이（H) | ||||||
| 냉각방식 | 강제공랭 | 강제공랭+수랭 | ||||
TXH 시리즈 사양
coming soon！
| 대응 주파수 | 40MHz | 〇 | 〇 | |
|---|---|---|---|---|
| 60MHz | 〇 | |||
| 정격출력(W) | 1600 | 2400 | 3000 | |
| 전원 | 삼상 AC200-240V |
|||
| 중량（Kg) | TBD | |||
| 외관 치수 (mm) |
폭（W) | 430 | 430 | 430 |
| 길이（L) | 600 | 600 | 600 | |
| 높이（H) | 177 | 177 | 177 | |
| 냉각방식 | 강제공랭 | 강제공랭+수랭 | ||