RF Plasma Generator AX series
특징
- 높은 반사 전력에 강한 AB급 Linear AMP 탑재
- 높은 신뢰성, 높은 내구설계
AX 시리즈 사양
| 대응 주파수 |
400kHz | 〇 | 〇 | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2MHz | 〇 | 〇 | ||||||||||
| 13.56MHz | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| 27.12MHz | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||||
| 정격출력 (W) | 300 | 600 | 1000 | 1500 | 2000 | 3000 | 5000 | 7500 | 10000 | 20000 | 30000 | |
| 전원 | 단상 AC200-240V |
삼상 AC200-240V |
삼상 AC440-480V |
|||||||||
| 중량（Kg) | 11 | 25 | 36 | 25 | 40 | 32 | 62 | 235 | 320 | 560 | 570 | |
| 외관 치수 (mm) | 폭（W) | 430 | 430 | 430 | 430 | 430 | 430 | 550 | 570 | 700 | 850 | |
| 길이（L) | 370 | 500 | 450 | 550 | 550 | 670 | 670 | 800 | 850 | 850 | ||
| 높이（H) | 132.5 | 132.5 | 177 | 177 | 221 | 266 | 266 | 800 | 1106 | 1300 | ||
| 냉각방식 | 강제공랭 | 강제공랭+수랭 | ||||||||||