ADTEC Plasma technology 제품정보
RF Plasma Generators
- 고반사 전력에도 강한 내구성과 높은 신뢰성을 갖춘 설계
- 비용 절감을 위한 경량화 모델 포함
- 최신 CPU 탑재 (빠른 응답성)
- 최신 통신방식에 대응가능 (Ether CAT 대응가능)
Automatic Impedance Matching Boxes
- 고속 자동 정합가능
- Smith chart에서 챔버 임피던스를 실시간 모니터링
- 전용 소프트웨어로 진행파,반사파 전력 등을 실시간 표시
DC Power Supply
- 1대로 멀티출력 모드로 변경가능
Duty가변, 바이폴라 출력
직류출력, 직류 펄스 출력 - 고속 Arc 차단 기능탑재
Microwaves
- 플라즈마 프로세스 시스템 장치에 대응
- 고전압부,발진부에 의한 배기열의 영향없이 광범위한 설치