双极直流电源 ＢＰ０２０Ａ
特点
- 可在一台电源上实现多种输出模式
可变Duty，双极输出，直流输出，直流脉冲方式输出 - 输出电压1000V的高耐电压规格，采用SiC功率模块
- 高速的数位硬件结构，可实现高速电弧遮断功能
- 为密闭型的水冷冷却结构,不受散热影响,并且设置环境也适合广大范围
规格
| AC电源 | 三相AC380V±10％（47～63Hz） |
|---|---|
| 额定功率 | 20kW |
| 额定电压 | 1000V（～20A） |
| 额定电流 | 40A（～500V） |
| 输出频率 | 20・40・60・80kHz（可设置） |
| 点火模式 | 2000V |
| 冷却方式 | 密闭型水冷 工业用水/流量：7L/min（0.7Mpa以下） |
| 外观尺寸 | W482xH266xD800（mm） |
| 重量 | 约70kg |
双极直流电源 ＢＰ０1０Ａ
将于近日发布
规格
| AC供电 | 三相AC380V±10％（47～63Hz） |
|---|---|
| 额定功率 | 1000V(～10A） |
| 额定电压 | 25A（～400V） |
| 输出频率 | 20・40・60・80kHz（可设置） |
| 点火模式 | 2000V |
| 冷却方式 | 密闭型水冷 |
| 外观尺寸 | TBD |
| 重量 | TBD |
※具体详情请联系技术支持
静电卡盘电源
特点
- 符合UL标准，输出±10kV的高电压
- 具有极性反转功能及强制接地功能的静电卡盘高压电源
- 数字控制，外部通信（RS-232C），模拟输出显示（电压，电流）功能
- 具有可靠的保护电路来防止负载测的放电，短路，过载等
- 另售专用RF滤波器BOX来保护电源免受RF干扰的影响
规格
| AC电源 | DC24Vdc（22Vdc～28Vdc） |
|---|---|
| 额定电压 | ±10kVdc |
| 额定电流 | ±1mA |
| 纹波电压 | 1%pp |
| 输出稳定性 | 100Vdc（额定输出时） |
| 负载范围 | 10MΩ（容许值：8～50MΩ） |
| 冷却方式 | 风冷（不可使用腐蚀性气体） |
| 外观尺寸 | W480xH149xD500（mm） |
| 重量 | 约9.7kg |