专利
日本
| 微波等离子体产生方法及装置 | 2010 |
| 等离子产生电极及等离子产生方法 | 2012 |
| 设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置 | 2019 |
| 能够任意地设定所输出的高频电力的随时间推移而变化的图案的高频电源 | 2021 |
| 电气路径切换装置 | 2021 |
| 电抗可变电路以及具备该电路的阻抗匹配装置 | 2023 |
| 微波等离子炬 | 2024 |
| 微波等离子炬 点火器 | 2024 |
美国
| 等离子产生器，臭氧产生器，基板处理装置及半导体装置的制造方法 | 2009 |
| 同轴微波等离子炬 | 2010 |
| 设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置 | 2023 |
| 能够任意地设定所输出的高频电力的随时间推移而变化的图案的高频电源 | 2024 |
英国
| 同轴微波等离子炬 | 2016 |
德国
| 同轴微波等离子炬 | 2016 |
韩国
| 设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置 | 2020 |
加拿大
| 同轴微波等离子炬 | 2014 |
瑞士
| 同轴微波等离子炬 | 2016 |
台湾
| 設於高頻電源系統之阻抗匹配裝置 | 2020 |
| 可任意設定輸出之高頻功率之隨時間變化模式之高頻電源 | 2022 |
中国
| 设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置 | 2022 |