直流電源

双极直流电源　ＢＰ０２０Ａ　

特点

• 可在一台电源上实现多种输出模式
  可变Duty，双极输出，直流输出，直流脉冲方式输出
• 输出电压1000V的高耐电压规格，采用SiC功率模块
• 高速的数位硬件结构，可实现高速电弧遮断功能
• 为密闭型的水冷冷却结构,不受散热影响,并且设置环境也适合广大范围

规格

AC电源	三相AC380V±10％（47～63Hz）
额定功率	20kW
额定电压	1000V（～20A）
额定电流	40A（～500V）
输出频率	20・40・60・80kHz（可设置）
点火模式	2000V
冷却方式	密闭型水冷 工业用水/流量：7L/min（0.7Mpa以下）
外观尺寸	W482xH266xD800（mm）
重量	约70kg

静电卡盘电源

特点

• 符合UL标准，输出±10kV的高电压
• 具有极性反转功能及强制接地功能的静电卡盘高压电源
• 数字控制，外部通信（RS-232C），模拟输出显示（电压，电流）功能
• 具有可靠的保护电路来防止负载测的放电，短路，过载等
• 另售专用RF滤波器BOX来保护电源免受RF干扰的影响

规格

AC电源	DC24Vdc（22Vdc～28Vdc）
额定电压	±10kVdc
额定电流	±1mA
纹波电压	1%pp
输出稳定性	100Vdc（额定输出时）
负载范围	10MΩ（容许值：8～50MΩ）
冷却方式	风冷（不可使用腐蚀性气体）
外观尺寸	W480xH149xD500（mm）
重量	约9.7kg