직류전원 바이폴라 전원 BP020A
특징
- 1대에서 멀티로 출력모드 변경가능
Duty 가변, 바이폴라 출력, 직류출력, 직류 Pulse 출력 - 출력전압 1000Ｖ의 고내전압 사양, SiC 파워모듈 탑재
- 고속 디지털 하드웨어로 부터의 빠른 Arc차단기능
- 밀폐형 수랭식 냉각구조로 배기열 영향없는 광범위한 설치 범위
사양
| Receiving Power | 삼상 AC380V±10％（47～63Hz） |
|---|---|
| 정격전력 | 20kW |
| 정격전압 | 1000V（～20A） |
| 정격전류 | 40A（～500V） |
| 출력 주파수 | 20・40・60・80kHz（선택 가능） |
| Ignition 출력 | 2000V |
| 냉각방식 | 수랭밀폐식 공업용수 / 유량 : 7L/min (0.7Mpa이하) |
| 사이즈 | W482xH266xD800（mm） |
| 중량 | 약70kg |
직류전원 바이폴라 전원 BP020A
coming soon！
사양
| Receiving Power | 삼상 AC380V±10％（47～63Hz） |
|---|---|
| 정격전력 | 1000V(～10A） |
| 정격전압 | 25A（～400V） |
| 출력 주파수 | 20・40・60・80kHz （선택 가능） |
| Ignition 출력 | 2000V |
| 냉각방식 | 수랭밀폐식 |
| 사이즈 | TBD |
| 중량 | TBD |
※ 상세 사양에 대해서는 문의 바랍니다.
Electrostatic Chuck
특징
- UL기준, 출력전압 ±10kV의 고전압 출력
- 극성 반전기능, 강제 접지기능을 탑재한 Electrostatic Chuck 용 고전압 전원
- 디지털 제어, 통신기능(RS-232C), 아날로그 출력 모니터(전압,전류) 기능
- 부하측의 방전, 단락, 과부하 등에 대한 확실한 보호회로
- 외부 부착용 RF Filter BOX를 준비하여 RF noise로 부터 전원을 보호
사양
| Receiving Power | DC24Vdc（22Vdc～28Vdc） |
|---|---|
| 정격전압 | ±10kVdc |
| 정격전류 | ±1mA |
| Ripple 전압 | 1%pp |
| 출력 안정도 | 100Vdc (정격출력시) |
| 부하범위 | 10MΩ（허용치：8～50MΩ） |
| 냉각방식 | 공랭 (부식성 가스 없음) |
| 사이즈 | W480xH149xD500（mm） |
| 중량 | 약9.7kg |