특허권
일본
| 마이크로파 플라즈마 발생방법 및 장치 | 2010 |
| 플라즈마 발생전극 및 플라즈마 발생방법 | 2012 |
| 고주파전원 시스템에 설치되는 임피던스 정합장치 | 2019 |
| 출력하는 고주파전력의 시간에 따른 변화 패턴을 임의로 설정 가능한 고주파전원 | 2021 |
| 전기 경로 전환기 | 2021 |
| 리액턴스 가변회로 및 해당 회로를 구비한 임피던스 정합 장치 | 2023 |
| 마이크로파 플라즈마 토치 | 2024 |
| 마이크로파 플라즈마 토치 이그나이터 | 2024 |
미국
| 플라즈마 발생장치, 오존 발생장치, 기판 처리장치 및 반도체 디바이스 제조방법 | 2009 |
| 동축형 마이크로파 플라즈마 토치 | 2010 |
| 고주파전원 시스템에 설치되는 임피던스 정합장치 | 2023 |
| 출력하는 고주파전력의 시간에 따른 변화 패턴을 임의로 설정 가능한 고주파전원 | 2024 |
영국
| 동축형 마이크로파 플라즈마 토치 | 2016 |
독일
| 동축형 마이크로파 플라즈마 토치 | 2016 |
한국
| 고주파전원 시스템에 설치되는 임피던스 정합장치 | 2020 |
캐나다
| 동축형 마이크로파 플라즈마 토치 | 2014 |
스위스
| 동축형 마이크로파 플라즈마 토치 | 2016 |
대만
| 고주파전원 시스템에 설치되는 임피던스 정합장치 | 2020 |
| 출력하는 고주파전력의 시간에 따른 변화 패턴을 임의로 설정 가능한 고주파전원 | 2022 |
중국
| 고주파전원 시스템에 설치되는 임피던스 정합장치 | 2022 |