株式会社アドテックプラズマテクノロジー
PRODUCT

プラズマ用高周波電源 TSシリーズ

プラズマ用高周波電源 TSシリーズ

特徴

  • 高効率を実現したE級スイッチングAMP採用
  • コスト大幅削減、サイズ大幅小型化モデル

仕様

対応周波数 13.56MHz
定格出力(W) 5000 10000 20000 30000
電源 三相
AC200-240V
AC380-480V
重量(Kg) 25 46 100 150
外形寸法(mm)        
幅(W) 215 430 430 430
奥行(L) 700 650 650 650
高さ(H) 177 174.5 332 525.7
冷却方式 強制空冷+水冷
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