株式会社アドテックプラズマテクノロジー
PRODUCT 

高周波射频电源 AX系列

高周波射频电源 AX系列

プラズマ用高周波電源 AXシリーズ

特点

  • 搭载耐反射AB级线性增幅器
  • 采用值得信赖的高耐久型设计

AX系列规格





400kHz                  
2MHz                  
13.56MHz  
27.12MHz              
额定功率(W) 300 600 1000 1500 2000 3000 5000 7500 10000 20000 30000
AC电源 単相
AC200-240V
三相
AC200-240V
三相
AC440-480V
重量(Kg) 11 25 36 25 40 32 62 235 320 560 570




(mm)
宽(W)  430 430 430 430 430 430 550 570 700 850
深(L) 370 500 450 550 550 670 670 800 850 850
高(H) 132.5 132.5 177 177 221 266 266 800 1106 1300
冷却方式 风冷 风冷+水冷
产品及售后技术支持
电话/084-945-1300
受理时间/9:00~18:00(东京时间)星期六、日、节假日及本公司节假日除外