株式会社アドテックプラズマテクノロジーの取扱い製品株式会社IDXの取扱い製品 株式会社アドテックプラズマテクノロジーの取扱い製品 プラズマ用高周波電源 高反射に耐える高信頼、高耐久設計 コストダウンモデル有 最新CPU搭載(高速応答性UP) 新通信方式に対応(EtherCAT対応可) 自動インピーダンス整合装置 高速自動整合可能 スミスチャート上でチャンバーインピーダンスの監視 専用ソフトで進行波、反射波電力等リアルタイム表示 株式会社IDXの取扱い製品 直流電源 １台でマルチに出力モードの変更可能Duty可変、バイポーラ出力直流出力、直流パルス出力 高速アーク遮断機能搭載 マイクロ波 プラズマプロセスシステム用装置に対応 高電圧部、発振部による排気熱の影響がなく設置場所も広範囲
